Nagy tisztaságú alkalmazásokhoz – Legyen szó milliméteres kis összekötő elemről, bonyolult precíziós optikáról vagy méteres rendszerelemekről, a high-tech alkatrészekkel szemben támasztott tisztasági követelmények számos iparágban egyre szigorúbbak és szigorodnak.
A konkrét specifikációk az alkatrésztől, az iparágtól és az alkalmazási területtől függően változnak, a stabil termékminőséghez szükséges eredmény általában nem érhető el hagyományos tisztítórendszerekkel. A precíziós és nagy tisztaságú tisztítási megoldások régóta fennálló szolgáltatójaként az Ecoclean következetesen vezérli az erre a területre vonatkozó tisztítási rendszerek, eljárások és folyamatok fejlesztését, beleértve a speciálisan kialakított berendezéscsomagokat is.
Vannak olyan ágazatok, mint a félvezető-ellátó ipar, az optikai és optoelektronikai ipar, a vékonyréteg-technológia, a vákuum-, a lézer- és az elemzéstechnika, valamint az orvostechnika, amelyekben az alkatrészek és alkatrészek teljesítményével és megbízhatóságával szemben támasztott követelmények óriási mértékben megnövekedtek, és továbbra is növekedés tapasztalható. Ez hatással van az alkatrészek tisztítására.
Magasabb tisztasági követelmények
A félvezetőgyártó rendszerek alkatrészei esetében az olyan új fejlesztések, mint az EUV litográfiához használt szeletléptetők és szkennerek, nemcsak egyre bonyolultabb mechanikai alkatrészeket eredményeznek, hanem egyre nagyobbak és nehezebbek is. Ezeknek a munkadaraboknak az átmérője most egy milliméter és több mint egy méter között van, miközben az “olló” folyamatosan távolodik egymástól. Ezzel párhuzamosan az anyagok választéka is növekszik. Emellett a szemcsés, filmkémiai, szerves és szervetlen tisztaságra vonatkozó előírások is egyre szigorúbbak. Hasonló a helyzet az UHV, XHV és UCV tartományban használt vákuumtechnikai alkatrészekkel, például nagy teljesítményű lézerrendszerekben, csúcstechnológiás mérő- és elemzőberendezésekben. A precíziós optikák, mint a tükrök, lencsék és prizmák, valamint mikrooptikai alkatrészek esetében a bonyolultabb geometriák és a megváltozott anyagok is új és kihívásokkal teli tisztítási feladatokat eredményeznek. A bevonat technológiában egyre hatékonyabb folyamatok igényelnek rendkívül tiszta felületeket. És ez függetlenül attól, hogy az olyan alkatrészeket, mint a szerszámgépek, autóalkatrészek és optikai termékek, a bevonat előtt vagy után meg kell tisztítani.
A tisztaság igény szerinti meghatározása
Az alkatrészek tisztítása során ez olyan igényes feladatokat eredményez, amelyek a teljes gyártási folyamatra kiterjednek. A tisztasági követelmények terméktől, alkalmazási területtől és cégtől függően változnak. A részecsketisztasági előírásokat, amelyek a precíziós és nagy tisztaságú alkalmazásokban a nanométeres tartományba esnek, általában a felületi tisztasági osztály (ORK) megadásával határozzák meg. A szükséges filmkémiai, szerves és szervetlen felülettisztaságra vonatkozó előírásokat általában egyedi előírások vagy gyári szabványok határozzák meg, például a gázkibocsátási sebesség, amelyet tömegspektrométerrel értékelnek ki. E feladatok igény szerinti, hatékony és fenntartható megoldásához mind átfogó technológiai know-how, mind az alkalmazások és a fizikai összefüggések ismerete szükséges. A precíziós és nagy tisztaságú tisztítás jövőorientált megoldásainak tapasztalt, teljes körű szolgáltatójaként az Ecoclean mindkettővel rendelkezik. Ez biztosítja, hogy a tisztítási megoldásokat a követelményeknek megfelelően tervezzék és szereljék fel, amelyekkel a meghatározott tisztasági előírások a jelenlegi legmagasabb követelményekig (pl. 1. fokozat) megbízhatóan teljesíthetők.
A megfelelő tisztítási folyamat kiválasztása
A legmegfelelőbb tisztítási eljárás és rendszertechnológia kiválasztásánál a fő szempont az elérni kívánt tisztaság, az eltávolítandó szennyeződés, valamint az alkatrész anyaga és geometriája. Ez alapján meghatározható, hogy melyik tisztítóközeggel és milyen mechanikával milyen folyamatlépések és hány lépés szükséges. Ide tartoznak az olyan szempontok is, mint az öblítőközeg minősége és a szárítási technológia, csakúgy, mint az alkatrészkezelés tisztasága és a környezeti feltételek, például a tiszta helyiségbe való bekötés vagy beépítés.
Ha specifikációként az “olaj- és zsírmentes” szabványt, például a 4-es fokozatot határozzák meg, akkor költséghatékony és kompakt, teljes vákuumú egykamrás rendszerek állnak rendelkezésre, amelyek rendszertechnológiája, a közegek továbbítása és feldolgozása, valamint a tervezés kifejezetten csúcsminőségű tisztítási alkalmazásokhoz lett kialakítva. Ezekkel a környezetbarát oldószerekkel vagy vízbázisú tisztítással üzemeltetett rendszerekkel geometriailag összetett alkatrészekkel is megbízhatóan elérhető a követelményeknek megfelelő eredmény. Ehhez járulnak hozzá a szinte bármilyen módon kombinálható folyamatlehetőségek, mint az injekciós örvény mosás, a permetezés, a nagynyomású, a merülő, az ultrahangos és a plazmatisztítás, valamint az Ultrahang Plus vagy a Pulsated Pressure Cleaning (PPC). Módosított alkoholt (részben poláris oldószert) gyakran használnak ezekhez az alkalmazásokhoz a közeggel kapcsolatos előnyök miatt, mint például a különböző anyagok tisztításának lehetősége. Az ezekkel a rendszerekkel elérhető követelmények határa például a 2. fokozat. A kamratisztító rendszerek különösen nagy alkatrészek esetén kínálnak előnyöket a munkakamrában koncentrált folyamatmechanikának köszönhetően, például PPC, ultrahangos vagy megasonic és örvénybefecskendezők. Annak érdekében, hogy ezt a 2. fokozathoz vagy a megfelelő tisztasági előírásokhoz lehessen használni, az Ecoclean az EcoCvelát használja kétkamrás rendszerek gyártásához vízbázisú közeggel történő tisztításhoz.
A speciális, nagy tisztaságú berendezések mellett a tisztításhoz és öblítéshez teljesen különálló közegáramkörök biztosítják a meghatározott tisztítási eredmény megbízható és reprodukálható elérését. Ha a sokféle anyag és/vagy nagy áteresztőképesség, vagy tisztasági előírások miatt a tisztítási feladatok nem oldhatók meg viszonylag rövid időn belül szállítható kamrás rendszerrel, többfürdős ultrahangos tisztítórendszer szükséges. Az UCMSmartLine vagy UCMPerformanceLine szabványos modulokból álló modellsorozat megoldásaival az SBS Ecoclean Group ezen a területen is hatékony megoldásokat kínál. A tisztítási, öblítési, szárítási, be- és kirakodási folyamat lépéseit szolgáló modulokba integrált elektromos és vezérlési technológiának, valamint a rugalmas szállítórendszernek köszönhetően lehetővé teszik az adott feladathoz való egyszerű alkalmazkodást és bővíthetőek. Az egyedi tervezésű, többfürdős ultrahangos tisztítórendszereket, mint például az UCM HighLine, általában csúcskategóriás alkalmazásokban használják, például a félvezető-ellátó iparban, a lézer- és az optikai iparban.
Ha feliratkozik a Műszaki Magazin Hírlevelére, sosem marad le a híreinkről! További friss híreket talál a Műszaki Magazin főoldalán! Csatlakozzon hozzánk a Facebookon is!
