A mikroelektronika, pontosabban fogalmazva nanoelektronika mindennapjaink kikerülhetetlen részévé vált. Szinte fel sem tűnik, de már alig van olyan mindennapi eszköz, amelyben ne lenne valamilyen „okos” képesség.
Atomi rétegek HOPG mintán
Ehhez természetesen szükséges, hogy a mikrocsipek (processzorok, memóriák) egyre kisebb helyen elférjenek, valamint egyre energiatakarékosabbak legyenek. Emellett szükséges az is, hogy az okoseszközöket kiszolgáló szerverek teljesítménye az elvárt mértékben növekedjen.
Mindez úgy valósulhat meg, ha elérjük a mikrocsipeket felépítő elemi alkatrészek – pl. tranzisztorok – méretének folyamatosan csökkenését. Ezt a méretcsökkenést és a belőle eredő kapacitásnövekedést Moore törvénye írja le, amely szerint egy adott felületen létrehozható elemi eszközök száma kétévente a kétszeresére nő.
AFM felvétel Nanoindentált mintán
Természetesen minél kisebb méretekről van szó, annál nehezebb ezt a gyakorlatban megvalósítani. A sikerhez nélkülözhetetlen a hatékony nemzetközi K+F együttműködés. A legújabb, gyártásba még nem került 5 nanométer csíkszélességű technológia kifejlesztése is nemzetközi keretek között zajlott. A projekt az ECSEL JU európai uniós szervezet és a Nemzeti Kutatási Fejlesztési és Innovációs Alap támogatásával, „Kísérleti gyártósor fejlesztése öt nanométeres generációjú nanoelektronikai technológiákhoz” címmel valósult meg.
A projekt koordinátora a holland ASML, a nanoelektronikai iparág legfejlettebb fotolitográfiai eszközgyártójának irányításával valósult meg; az egyetlen magyar közreműködő a Semilab Félvezető Fizikai Laboratórium Zrt. volt. A félvezetőipari méréstechnikában jelentős magyar vállalat szilíciumszeleteken kialakított struktúrákat érintés- és roncsolásmentesen, néhány nanométer felbontással vizsgálni képes, teljesen automatizált mérőberendezést fejlesztett a projekt keretei között.
AFM felvétel (topography) és Kelvin probe AFM
A NEMZ_16-1-2017-0014. számú projekt a Nemzeti Kutatási Fejlesztési és Innovációs Alapból biztosított támogatással, a „Közös EU-s kezdeményezésekbe való bekapcsolódás támogatása (NEMZ_16)” pályázati program finanszírozásában valósult meg 2017. április 1. és 2019. november 30. között. A Nemzeti Kutatási Fejlesztési és Innovációs Alap által biztosított támogatás 102 300 000 Ft, a projekt támogatási intenzitása a 44,91% volt.
További Információk: www.semilab.hu
